SAWフィルター用複合ウエハー
SAWフィルターは、スマートフォンなどの無線通信機器に使用される主要電子部品の一つで、特定周波数の電波を取り出す役割を担い、通信品質を左右します。
製品情報
ウエハー製品
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概要
日本ガイシの複合ウエハーは、常温直接接合により熱ストレスをかけることなく、また接着材を使用しないため、支持基板の特性をそのまま機能層に生かすことが可能です。独自の精密研磨技術により、機能層を超精密に薄研磨加工し、提供することが可能です。
機能層及び支持層の厚み・公差は、ご要望に応じてカスタムに対応します。
複合ウエハー組み合わせ
機能層をサポートする支持基板は、用途により選択可能です。機能層として半導体結晶・圧電結晶、下地層（支持基板）として単結晶・多結晶（セラミックス）・ガラス（非晶質）の各種組み合わせにより 、「絶縁」「熱伝導」「熱膨張」「剛性」など、各種特性の改善が可能となります。
- 組合せによって、「MEMS」「パワー半導体」「高周波デバイス」などの基板として提供可能です。
- その他素材の組み合わせにも対応します。
- 多結晶セラミックスにつきましては、要求特性に合わせた新材料の開発に応じることが可能です。
複合ウエハー組み合わせ一覧表
| 支持基板(Base Substrate) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 機能層 (Functional Layer) |
単結晶 | 多結晶セラミックス | アモルファス | ||||||||
| シリコン Si |
LiTaO3/ LiNbO3 |
サファイヤ Sapphire |
アルミナ Al2O3 (HICERAM) |
窒化アルミ AlN |
窒化ケイ素 Si3N4 |
炭化ケイ素 SiC |
ジルコニア ZrO2 |
ガラス Glass |
|||
| 低熱膨張 高熱伝導 |
共材 | 高絶縁 高強度 |
高絶縁 高強度 |
高絶縁 高熱伝導 |
高熱伝導 高強度 |
高熱伝導 高強度 |
高強度 | 低熱膨張 | |||
| Si | 半導体 | 高周波デバイス | |||||||||
| GaAs | |||||||||||
| SiC | パワー半導体 LED・LD |
||||||||||
| GaN | |||||||||||
| ZnO | |||||||||||
| LiTaO3 | 圧電体 | SAW | |||||||||
| LiNbO3 | Piezoelectric MEMS | Optics | |||||||||
| PZT | |||||||||||
■：In production
■：R&D (for RF devices)
■：R&D (for Power Devices LED・LD)
■：R&D (for Piezoelectric MEMS)
■：Potential application
■：R&D (for RF devices)
■：R&D (for Power Devices LED・LD)
■：R&D (for Piezoelectric MEMS)
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