製品情報

静電チャック

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概要

強度、熱伝導、耐熱衝撃に優れた性能を発揮しています。当社独自の体積抵抗制御の技術により、幅広い温度帯域に対応可能です。

高強度、高熱伝導、高耐熱衝撃性能を有します。セラミックスを誘電体の基材に採用しており独自の体積抵抗率制御により低、中、高温度の幅広い領域に対応可能です。

フッ素系などのハロゲンガスに対して耐食性に優れています。

表面処理と特殊洗浄による低パーティクル化を実現します。

純度99.9%以上も対応可能です。

日本ガイシの静電チャックはウエハー吸着機能に加え、各種機能を追加することができます。

高精度な発熱体埋設技術によりセラミックヒーターと一体化することが可能になり、ウエハー表面温度を±1%以下に実現します。

高熱伝導性をもつセラミックプレートと冷却プレートを接着、接合することにより極めて高い冷却性能を有します。

バルク電極は、シンプルで安定したウエハーの吸着とRFプラズマ生成を同時に実現します。

[代表値]

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