製品・技術
静電チャック
概要
強度、熱伝導、耐熱衝撃に優れた性能を発揮しています。当社独自の体積抵抗制御の技術により、幅広い温度帯域に対応可能です。
特長
広範囲な温度対応（-50〜700℃）
高強度、高熱伝導、高耐熱衝撃性能を有します。セラミックスを誘電体の基材に採用しており独自の体積抵抗率制御により低、中、高温度の幅広い領域に対応可能です。
耐食性
フッ素系などのハロゲンガスに対して耐食性に優れています。
ウエハー裏面低パーティクル処理
表面処理と特殊洗浄による低パーティクル化を実現します。
高純度
純度99.9%以上も対応可能です。
機能
NGKの静電チャックはウエハー吸着機能に加え、各種機能を追加することができます。
加熱
高精度な発熱体埋設技術によりセラミックヒーターと 一体化することが可能になり、ウエハー表面温度を±1%以下に実現します。
冷却
高熱伝導性をもつセラミックプレートと冷却プレートを接着、接合することにより極めて高い冷却性能を有します。
RF電流対応のバルク電極
バルク電極は、シンプルで安定したウエハーの吸着とRFプラズマ生成を同時に実現します。
仕様
| サイズ | 200mm、300mm、450mmウエハー対応 |
|---|---|
| 吸着メカニズム | ジョンソン・ラーベック（AlN）、 クーロン（Al2O3） |
| 電極形状 | 双極または単極 |
AlNの材料特性
[代表値]
| Aluminum Nitride | ||||
|---|---|---|---|---|
| HA-12 | HA-37/38 | HA-50/51 | ||
| 純度 | （%） | 95 | 99 | 99 |
| 密度 | [g/cc] | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
| 体積抵抗率 | [Ωcm](RT) | >1E+15 | 1E+8〜+13 | >1E+15 |
| 熱伝導率 | [W/mK](RT) | 170 | 100 | 80 |
| 熱膨張系数 | (RT) | 5.7(1000℃) | 5.6(1000℃) | 5.6(1000℃) |
| 強度 | [MPa](RT) | >300 | >300 | >250 |
| ヤング率 | [GPa](RT) | 300 | 300 | 300 |
| 誘電率 | (13.56MHz、RT) | 8.6 | 8.8 | 8.6 |
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