セラミックヒーター
高熱伝導のAlNを採用、抵抗発熱体一体焼結により優れた均熱性を提供します。金属汚染不純物を大幅に低減。
製品情報
各種パーツ
製品タグ：
概要
高度な技術でさまざまな形状のパーツを提供しています。
特長
窒化アルミニウム（AlN）
- 高純度（〜99.9%）
- 熱伝導率（〜170W/mK）
- 耐食性、耐プラズマ性
[製品例]
シャフト、サセプターリング
アルミナ
- 高純度（〜99.9%）
- 耐食性、耐プラズマ性
- 複雑形状対応
- 大型製品対応
[製品例]
リング
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半導体製造装置用セラミックスに関するお問い合わせ
HPC事業部 CS統括部 営業部
- 03-6213-8789 FAX:03-6213-8975