製品情報

各種パーツ

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概要

各種パーツ

高度な技術でさまざまな形状のパーツを提供しています。

特長

窒化アルミニウム（AlN）

  • 高純度（〜99.9%）
  • 熱伝導率（〜170W/mK）
  • 耐食性、耐プラズマ性

[製品例]

シャフト、チューブ、サセプターリング

アルミナ

  • 高純度（〜99.9%）
  • 耐食性、耐プラズマ性
  • 複雑形状対応
  • 大型製品対応

[製品例]

リング、アーム

おすすめ製品

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半導体製造装置用セラミックスに関するお問い合わせ

HPC事業部営業部 東京営業所

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