製品情報

各種パーツ

概要

各種パーツ

高度な技術でさまざまな形状のパーツを提供しています。

特長

窒化アルミニウム(AlN)

  • 高純度(〜99.9%)
  • 熱伝導率(〜170W/mK)
  • 耐食性、耐プラズマ性

[製品例]

シャフト、チューブ、サセプターリング

アルミナ

  • 高純度(〜99.9%)
  • 耐食性、耐プラズマ性
  • 複雑形状対応
  • 大型製品対応

[製品例]

リング、アーム

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半導体製造装置用セラミックスに関するお問い合わせ

HPC事業部営業部 東京営業所