製品・技術
各種パーツ
概要
高度な技術でさまざまな形状のパーツを提供しています。
特長
窒化アルミニウム（AlN）
- 高純度（〜99.9%）
- 熱伝導率（〜170W/mK）
- 耐食性、耐プラズマ性
[製品例]
シャフト、サセプターリング
アルミナ
- 高純度（〜99.9%）
- 耐食性、耐プラズマ性
- 複雑形状対応
- 大型製品対応
[製品例]
リング
おすすめ製品
半導体製造装置用セラミックスに関するお問い合わせ
DS事業本部 営業統括部 HPC営業部
高度な技術でさまざまな形状のパーツを提供しています。
シャフト、サセプターリング
リング