製品情報
静電容量センサー
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概要
センサー上の容量・インピーダンスの変化を検知するセンサーです。
液体の液量・濃度センサーなどに応用できます。
極薄セラミック層により検出電極が保護されているため、さまざまな薬液への対応が可能です。
ご希望の仕様に応じて、保護膜の材料、厚み、電極パターンをカスタムに対応します。
構造例
電極パターン
A-A’断面構造
計測原理
センサー上の状態変化による容量・インピーダンスの変化を検知
想定用途例
- 腐食性・反応性溶剤の液量センサー
- 薬液、試薬などの濃度センサー
- 結露センサー
- ガスセンサー
- パーティクルセンサー
- 空間電位センサー
液量センサー特性例
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電子デバイス事業部 営業部