製品情報

静電容量センサー

概要

センサー上の容量・インピーダンスの変化を検知するセンサーです。
液体の液量・濃度センサーなどに応用できます。
極薄セラミック層により検出電極が保護されているため、さまざまな薬液への対応が可能です。
ご希望の仕様に応じて、保護膜の材料、厚み、電極パターンをカスタムに対応します。

構造例

電極パターン

A-A’断面構造

計測原理

センサー上の状態変化による容量・インピーダンスの変化を検知

想定用途例

  • 腐食性・反応性溶剤の液量センサー
  • 薬液、試薬などの濃度センサー
  • 結露センサー
  • ガスセンサー
  • パーティクルセンサー
  • 空間電位センサー

液量センサー特性例

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エレクトロニクス事業本部 電子営業部