製品情報

セラミックヒーター

概要

AlNヒーター

熱伝導性に優れた窒化アルミニウム(AlN)を採用し、抵抗発熱体と一体で焼結することにより優れた均熱性を実現するほか、金属汚染不純物も大幅に低減しています。

特長

高均熱性および広範囲な温度対応

熱伝導に優れるAlNセラミックスを採用しており、高い温度均一性を達成しています。

また、広範囲な温度域(~800℃)で使用することができます。

コンパクト

抵抗発熱体に加えてバルク状のRF電極をセラミックス中に一体焼結することができます。

またセラミックプレートにセラミックシャフトをダイレクトボンディングできます。

耐食性

ハロゲンガス、酸化雰囲気にも優れた耐久性を示しています。各種コーティングにも対応可能です。

ノンメタル

パーティクルレス、コンタミレス。高耐久性(メタルサセプターの3〜30倍の実績)

ウエハー吸着に対応

セラミックプレート内のRF電極はウエハー吸着用の静電チャック電極として使用できます。

機能

ウエハー温度分析
ウエハー温度分析(φ300ヒーター)
例:600℃温度域<±0.1%

仕様

サイズ 200mm、300mm、450mmウエハー対応
電源 100〜200V×15〜50A
電極材料 Niロッド(ケーブル)を端子に接合(ロウ接合、ネジ締結)
ヒーター材料 AlN

AlNの材料特性

[代表値]

  Aluminum Nitride
HA-12 HA-37/38 HA-50/51
純度 [%] 95 99 99
密度 [g/cc] 3.3 3.3 3.3
体積抵抗率 [Ωcm](RT) >1E+15 1E+8〜+13 >1E+15
熱伝導率 [W/mK](RT) 170 100 80
熱膨張系数 (RT) 5.7(1000℃) 5.0(1000℃) 5.6(1000℃)
強度 [MPa](RT) >300 >300 >250
ヤング率 [GPa](RT) 300 300 300
誘電率 (13.56MHz、RT) 8.6 8.8 8.6

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HPC事業部営業部 東京営業所