製品情報
AlNヒーター
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概要
熱伝導性に優れた窒化アルミニウム（AlN）を採用し、抵抗発熱体と一体で焼結することにより優れた均熱性を実現するほか、金属汚染不純物も大幅に低減しています。
特長
高均熱性および広範囲な温度対応
熱伝導に優れる窒化アルミニウム（AlN）セラミックスを採用しています。また直接加熱方式であるため、窓のくもりなどによる経時変化がありません。
広範囲な温度対応が可能です。（〜800℃）
コンパクト
抵抗発熱体をセラミックス中に一体焼結しています。またヒータープレートにセラミックシャフトをダイレクトボンディングできます。
耐食性
ハロゲンガス、酸化雰囲気にも優れた耐久性を示しています。各種コーティングにも対応可能です。
ノンメタル
パーティクルレス、コンタミレス。高耐久性（メタルサセプターの3〜30倍の実績）
機能
均熱性と使用温度範囲
[代表値]
| 使用温度 | 低温域 〜200℃ |
中温度 〜600℃ |
高温域 1〜800℃ |
|---|---|---|---|
| ヒーター面内温度分布 | <±0.2% | <±0.5% | <±1% |
仕様
| サイズ | 200mm、300mm、450mmウエハー対応 |
|---|---|
| 電源 | 100〜200V×15〜50A |
| 電極材料 | Niロッド（ケーブル）を端子に接合（ロウ接合、ネジ締結） |
| ヒーター材料 | AlN |
AlNの材料特性
[代表値]
| Aluminum Nitride | ||||
|---|---|---|---|---|
| HA-12 | HA-37/38 | HA-50/51 | ||
| 純度 | [%] | 95 | 99.8 | 99 |
| 密度 | [g/cc] | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
| 体積抵抗率 | [Ωcm](25℃) | >1E+15 | 1E+8〜+12 | >1E+15 |
| 熱伝導率 | [W/mK]（25℃) | 170 | 90 | 80 |
| 熱容量 | [J/kgK] | 750 | 750 | 750 |
| 熱膨張系数 | [×10-6/℃] | 5.7(1000℃) | 5.0(1000℃) | 5.6(1000℃) |
| 強度 | [MPa] | 400 | 400 | 310 |
| ビッカーズ硬さ | [GPa] | 9.8 | 10.7 | - |
| ヤング率 | [GPa] | 300 | 300 | 300 |
| 誘電率 | 8.6 | 8.8 | 8.6 | |
半導体製造装置用セラミックスに関するお問い合わせ
HPC事業部営業部 東京営業所
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