静電チャック
高強度、高熱伝導、高耐熱衝撃性能を発揮。日本ガイシ独自の体積抵抗制御技術により幅広い温度帯域に対応可能。
製品情報
セラミックヒーター
製品タグ：
概要
熱伝導性に優れた窒化アルミニウム（AlN）を採用し、抵抗発熱体と一体で焼結することにより優れた均熱性を実現するほか、金属汚染不純物も大幅に低減しています。
特長
高均熱性および広範囲な温度対応
熱伝導に優れるAlNセラミックスを採用しており、高い温度均一性を達成しています。
また、広範囲な温度域(～800℃)で使用することができます。
コンパクト
抵抗発熱体に加えてバルク状のRF電極をセラミックス中に一体焼結することができます。
またセラミックプレートにセラミックシャフトをダイレクトボンディングできます。
耐食性
ハロゲンガス、酸化雰囲気にも優れた耐久性を示しています。
ウエハー吸着に対応
セラミックプレート内のRF電極はウエハー吸着用の静電チャック電極として使用できます。
機能
例：600℃温度域<±0.1%
仕様
| サイズ | 200mm、300mm、450mmウエハー対応 |
|---|---|
| 電源 | 100〜200V×15〜50A |
| 電極材料 | Niロッド（ケーブル）を端子に接合（ロウ接合、ネジ締結） |
| ヒーター材料 | AlN |
AlNの材料特性
[代表値]
| Aluminum Nitride | ||||
|---|---|---|---|---|
| HA-12 | HA-37/38 | HA-50/51 | ||
| 純度 | [%] | 95 | 99 | 99 |
| 密度 | [g/cc] | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
| 体積抵抗率 | [Ωcm](RT) | >1E+15 | 1E+8〜+13 | >1E+15 |
| 熱伝導率 | [W/mK](RT) | 170 | 100 | 80 |
| 熱膨張系数 | (RT) | 5.7(1000℃) | 5.6(1000℃) | 5.6(1000℃) |
| 強度 | [MPa](RT) | >300 | >300 | >250 |
| ヤング率 | [GPa](RT) | 300 | 300 | 300 |
| 誘電率 | (13.56MHz、RT) | 8.6 | 8.8 | 8.6 |
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