製品情報

ハイセラムウエハー

概要

ハイセラムウエハー

ハイセラムウエハーは、日本ガイシ独自の高純度アルミナ「ハイセラム」を使用し、透光性と熱伝導性とを兼ね備え、高周波特性に優れたセラミックウエハーです。

特長

透光性、熱伝導性に優れ、高剛性

HICERAM Glass(quartz) Si
Separate method UV x
Chemical
Thermal Conductivity(W/m K) 34 1 168
Young's modulus(GPa) 410 72 185

高周波帯で低損失

HICERAM Alumina Sapphire
εr(@10GHz) 10 9.6 9.3
tanδ[×10-5](@10GHz) 6.7 50 6.3

用途

サポートウエハー(貫通孔あり/なし)

耐薬品性や透光性に優れ、剛性の高いウエハー

  • 高純度による高い耐薬品性
  • モールドキャスト成形で、ウエハー上に貫通孔を自由に配置可能
  • Φ300mm、300mmまで対応可能
  • UV~IRまで高い透過率
  • サファイアと同等レベルの高い剛性
 サポートウエハーの説明図

インターポーザ基板

高剛性で低損失パッケージ基板用薄型コア材

インターポーザ基板の説明図

焼成用セッター

  • 高純度で、炉内を汚さない
  • 薄型化で、炉内の省スペース化が可能
  • 赤外線を透過するので、均一焼成が可能となり、焼成効率が向上

その他

高強度や耐薬品性を生かした部品・治具としても検討ください。(サファイアでは困難な大口径や異形形状も対応可能)

電子電気機器用セラミックスに関するお問い合わせ

エレクトロニクス事業本部 電子営業部