セラミック膜フィルター「セフィルト」
耐熱性、耐薬品性に優れたファインセラミックス(長寿命ろ過フィルター)を使用。また、逆洗再生性が良好な複層構造であり、シャープな細孔分布で高い分離性能を実現します。
製品情報
半導体部品の製造において、超純水による精密洗浄は必要不可欠です。
通常の精密洗浄は、イオン成分がほとんど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生しやすく、下記のような障害から製品不良の一因となっているケースがあります。
超純水に炭酸ガスを溶解(酸性機能水)するメグコンは、この静電気に起因する障害を解決し、製品不良の低減(歩留り向上)に貢献します。
炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。
シリーズ | キャビネットタイプ | エアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+ - (下記型式番号)』 | ||||
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型式 | 標準 | 1000ACD | 1200ACD | 2000ACD | 1220ACD | 2040ACD |
Sタイプ※2 | 1000ACD-S | 1200ACD-S | 2000ACD-S | 1220ACD-S | 2040ACD-S | |
性能 | 最大流量 L/hr | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 4000 |
制御域※1 MΩ・cm | 0.2-2.0 | 0.1-0.5 | 0.2-2.0 | 0.15-1.0 | 0.2-2.0 | |
寸法 | 標準 | 520W×400D×1150H mm | ||||
Sタイプ※2 | 520W×400D×1415H mm | |||||
重量 | 標準 | 65kg | 70kg | |||
Sタイプ※2 | 66kg | 71kg | ||||
接液部 |
セル(炭酸ガス導入部):PP | セル(炭酸ガス導入部):PP | ||||
材質 | 配管:PVC、ブレードホース | 配管:PVC | ||||
超純水 接続口径 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 1/4 | |||
ユーティリティ | 超純水 | 圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度:5~35℃ / 水質:10MΩ・cm以上 | ||||
CO2ガス | 圧力:0.1~0.2MPa / 温度:5~35℃ / 純度:99.5% 以上 | |||||
ドライエアー (膜乾燥用) |
エアーポンプ内蔵のため不要 | |||||
電源 | AC100-240V(50/60Hz) | |||||
標準付属品 | 取扱説明書、検査成績書 | |||||
AC100-120V:電源コード2.8m(プラグ付) | ||||||
AC200-240V:電源コード5m(プラグ無) |
シリーズ | ラックタイプ | エアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+ - (下記型式番号)』 外部エアー供給式 『FRCⅡ+ - (下記型式番号)』 |
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型式 | 1000AD | 1200AD | 2000AD | 1220AD | |
性能 | 最大流量 L/hr | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 |
制御域※1 MΩ・cm | 0.2-2.0 | 0.1-0.5 | 0.2-2.0 | 0.15-1.0 | |
寸法 | 480W×355D×200H mm | ||||
重量 | 15kg | ||||
接液部 | セル(炭酸ガス導入部):PP | ||||
材質 | 配管:PVC、ブレードホース | ||||
超純水 接続口径 | ホース用ノズル(IDφ19 ブレードホース用) | ||||
ユーティリティ | 超純水 | 圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度:5~35℃ / 水質:10MΩ・cm以上 | |||
CO2ガス | 圧力:0.1~0.2MPa / 温度:5~35℃ / 純度:99.5% 以上 | ||||
ドライエアー (膜乾燥用) |
『PRC』シリーズ:エアーポンプ内蔵式のため不要 |
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『FRC』シリーズ:0.1~0.2MPa | |||||
電源 | AC100-240V(50/60Hz) | ||||
標準付属品 | 取扱説明書、検査成績書 | ||||
AC100-120V:電源コード2.8m(プラグ付) | |||||
AC200-240V:コード無(端子台に接続してください) |
NGKフィルテック株式会社 営業部