セラミック膜フィルター「セフィルト」
耐熱性、耐薬品性に優れたファインセラミックス（長寿命ろ過フィルター）を使用。また、逆洗再生性が良好な複層構造であり、シャープな細孔分布で高い分離性能を実現します。
製品情報
超純水帯電防止器MEGCON
製品タグ：
半導体部品の製造において、超純水による精密洗浄は必要不可欠です。
概要
通常の精密洗浄は、イオン成分がほとんど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生しやすく、下記のような障害から製品不良の一因となっているケースがあります。
- 静電気による回路破壊（=静電破壊）
- 被洗浄物の表面荷電、静電気による微粒子の再付着
超純水に炭酸ガスを溶解（酸性機能水）するメグコンは、この静電気に起因する障害を解決し、製品不良の低減（歩留り向上）に貢献します。
用途
- ダイシング工程における洗浄
- 高圧ジェット洗浄
- スクラバー洗浄
- 液晶パネルの洗浄
- フォトマスクおよびレチクルの洗浄
特長
- 微粒子混入リスクが少なく、また炭酸ガス消費量が少ない
- フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
- 装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
- 欧州へ輸出可能なCEマーキング※シリーズをラインアップ
- 大流量にも対応（大流量機種をラインアップ）
- ※欧州(EU)指令で定められている安全規格と表示制度です
特長
炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。
MEGCONⅡ+『PRCシリーズ』型式・仕様
| シリーズ | キャビネットタイプ | エアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+ - (下記型式番号)』 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | 標準 | 1000ACD | 1200ACD | 2000ACD | 1220ACD | 2040ACD | |
| Sタイプ※2 | 1000ACD-S | 1200ACD-S | 2000ACD-S | 1220ACD-S | 2040ACD-S | ||
| 性能 | 最大流量 L/hr | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 4000 | |
| 制御域※1 MΩ・cm | 0.2-2.0 | 0.1-0.5 | 0.2-2.0 | 0.15-1.0 | 0.2-2.0 | ||
| 寸法 | 標準 | 520W×400D×1150H mm | |||||
| Sタイプ※2 | 520W×400D×1415H mm | ||||||
| 重量 | 標準 | 65kg | 70kg | ||||
| Sタイプ※2 | 66kg | 71kg | |||||
| 接液部 |
セル（炭酸ガス導入部）：PP | セル（炭酸ガス導入部）：PP | |||||
| 材質 | 配管：PVC、ブレードホース | 配管：PVC | |||||
| 超純水 接続口径 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 1/4 | ||||
| ユーティリティ | 超純水 | 圧力：常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度：5～35℃ / 水質：10MΩ・cm以上 | |||||
| CO2ガス | 圧力：0.1～0.2MPa / 温度：5～35℃ / 純度：99.5% 以上 | ||||||
| ドライエアー （膜乾燥用） |
エアーポンプ内蔵のため不要 | ||||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） | ||||||
| 標準付属品 | 取扱説明書、検査成績書 | ||||||
| AC100-120V：電源コード2.8m（プラグ付） | |||||||
| AC200-240V：電源コード5m（プラグ無） | |||||||
| シリーズ | ラックタイプ | エアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+ - (下記型式番号)』 外部エアー供給式 『FRCⅡ+ - (下記型式番号)』 |
|||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | 1000AD | 1200AD | 2000AD | 1220AD | |
| 性能 | 最大流量 L/hr | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 |
| 制御域※1 MΩ・cm | 0.2-2.0 | 0.1-0.5 | 0.2-2.0 | 0.15-1.0 | |
| 寸法 | 480W×355D×200H mm | ||||
| 重量 | 15kg | ||||
| 接液部 | セル（炭酸ガス導入部）：PP | ||||
| 材質 | 配管：PVC、ブレードホース | ||||
| 超純水 接続口径 | ホース用ノズル（IDφ19 ブレードホース用） | ||||
| ユーティリティ | 超純水 | 圧力：常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度：5～35℃ / 水質：10MΩ・cm以上 | |||
| CO2ガス | 圧力：0.1～0.2MPa / 温度：5～35℃ / 純度：99.5% 以上 | ||||
| ドライエアー （膜乾燥用） |
『PRC』シリーズ：エアーポンプ内蔵式のため不要 |
||||
| 『FRC』シリーズ：0.1～0.2MPa | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） | ||||
| 標準付属品 | 取扱説明書、検査成績書 | ||||
| AC100-120V：電源コード2.8m（プラグ付） | |||||
| AC200-240V：コード無（端子台に接続してください） | |||||
- ※1：最小比抵抗値は、流量約500L/hrの場合の到達値です。
- ※2：-S タイプは ブザー付2色灯台 ＋ レベラー・キャスター付となります。
- ※超純水の圧力は、常用0.35MPa, 瞬時の場合でも0.45MPa以下でご使用ください。
- ※仕様および記載内容は、事前の予告なしに変更することがあります。
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