製品・技術

超純水帯電防止器MEGCON

半導体部品の製造において、超純水による精密洗浄は必要不可欠です。

概要

通常の精密洗浄は、イオン成分がほとんど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生しやすく、下記のような障害から製品不良の一因となっているケースがあります。

  • 静電気による回路破壊(=静電破壊)
  • 被洗浄物の表面荷電、静電気による微粒子の再付着

超純水に炭酸ガスを溶解(酸性機能水)するメグコンは、この静電気に起因する障害を解決し、製品不良の低減(歩留り向上)に貢献します。

用途

  • ダイシング工程における洗浄
  • 高圧ジェット洗浄
  • スクラバー洗浄
  • 液晶パネルの洗浄
  • フォトマスクおよびレチクルの洗浄

特長

  1. 1微粒子混入リスクが少なく、また炭酸ガス消費量が少ない
  2. 2フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
  3. 3装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
  4. 4欧州へ輸出可能なCEマーキングシリーズをラインアップ
  5. 5大流量にも対応(大流量機種をラインアップ)
  • 欧州(EU)指令で定められている安全規格と表示制度です

特長

炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。

RC-1000AD(本体ラックタイプ)

MEGCONⅡ+『PRCシリーズ』型式・仕様

シリーズキャビネットタイプエアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+ - (下記型式番号)』
型式標準1000ACD1200ACD2000ACD1220ACD2040ACD
Sタイプ※21000ACD-S1200ACD-S2000ACD-S1220ACD-S2040ACD-S
性能最大流量 L/hr10001000200020004000
制御域※1MΩ・cm0.2-2.00.1-0.50.2-2.00.15-1.00.2-2.0
寸法標準520W×400D×1150H mm
Sタイプ※2520W×400D×1415H mm
重量標準65kg70kg
Sタイプ※266kg71kg
接液部セル(炭酸ガス導入部):PPセル(炭酸ガス導入部):PP
材質配管:PVC、ブレードホース配管:PVC
超純水 接続口径Rc1/2Rc3/4Rc1 1/4
ユーティリティ超純水圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度:5~35℃ / 水質:10MΩ・cm以上
CO2ガス圧力:0.1~0.2MPa / 温度:5~35℃ / 純度:99.5% 以上
ドライエアー
(膜乾燥用)
エアーポンプ内蔵のため不要
電源AC100-240V(50/60Hz)
標準付属品取扱説明書、検査成績書
AC100-120V:電源コード2.8m(プラグ付)
AC200-240V:電源コード5m(プラグ無)
シリーズラックタイプエアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+- (下記型式番号)』
外部エアー供給式  『FRCⅡ+- (下記型式番号)』
型式1000AD1200AD2000AD1220AD
性能最大流量 L/hr1000100020002000
制御域※1 MΩ・cm0.2-2.00.1-0.50.2-2.00.15-1.0
寸法480W×355D×200H mm
重量15kg
接液部セル(炭酸ガス導入部):PP
材質配管:PVC、ブレードホース
超純水 接続口径ホース用ノズル(IDφ19 ブレードホース用)
ユーティリティ超純水圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度:5~35℃ / 水質:10MΩ・cm以上
CO2ガス圧力:0.1~0.2MPa / 温度:5~35℃ / 純度:99.5% 以上
ドライエアー
(膜乾燥用)
『PRC』シリーズ:エアーポンプ内蔵式のため不要
『FRC』シリーズ:0.1~0.2MPa
電源AC100-240V(50/60Hz)
標準付属品取扱説明書、検査成績書
AC100-120V:電源コード2.8m(プラグ付)
AC200-240V:コード無(端子台に接続してください)
  1. ※1最小比抵抗値は、流量約500L/hrの場合の到達値です。
  2. ※2-S タイプは ブザー付2色灯台 + レベラー・キャスター付となります。
  • 超純水の圧力は、常用0.35MPa, 瞬時の場合でも0.45MPa以下でご使用ください。
  • 仕様および記載内容は、事前の予告なしに変更することがあります。

膜分離装置・
システムエンジニアリングについて

このページの製品は、NGKグループのNGKフィルテック株式会社が取り扱っています。

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