製品・技術
超純水帯電防止器MEGCON
事業分野
半導体部品の製造において、超純水による精密洗浄は必要不可欠です。
概要
通常の精密洗浄は、イオン成分がほとんど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生しやすく、下記のような障害から製品不良の一因となっているケースがあります。
- 静電気による回路破壊(=静電破壊)
- 被洗浄物の表面荷電、静電気による微粒子の再付着
超純水に炭酸ガスを溶解(酸性機能水)するメグコンは、この静電気に起因する障害を解決し、製品不良の低減(歩留り向上)に貢献します。
用途
- ダイシング工程における洗浄
- 高圧ジェット洗浄
- スクラバー洗浄
- 液晶パネルの洗浄
- フォトマスクおよびレチクルの洗浄
特長
- 1微粒子混入リスクが少なく、また炭酸ガス消費量が少ない
- 2フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
- 3装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
- 4欧州へ輸出可能なCEマーキング※シリーズをラインアップ
- 5大流量にも対応(大流量機種をラインアップ)
- ※欧州(EU)指令で定められている安全規格と表示制度です
特長
炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。

MEGCONⅡ+『PRCシリーズ』型式・仕様
| シリーズ | キャビネットタイプ | エアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+ - (下記型式番号)』 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | 標準 | 1000ACD | 1200ACD | 2000ACD | 1220ACD | 2040ACD |
| Sタイプ※2 | 1000ACD-S | 1200ACD-S | 2000ACD-S | 1220ACD-S | 2040ACD-S | |
| 性能 | 最大流量 L/hr | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 4000 |
| 制御域※1MΩ・cm | 0.2-2.0 | 0.1-0.5 | 0.2-2.0 | 0.15-1.0 | 0.2-2.0 | |
| 寸法 | 標準 | 520W×400D×1150H mm | ||||
| Sタイプ※2 | 520W×400D×1415H mm | |||||
| 重量 | 標準 | 65kg | 70kg | |||
| Sタイプ※2 | 66kg | 71kg | ||||
| 接液部 | セル(炭酸ガス導入部):PP | セル(炭酸ガス導入部):PP | ||||
| 材質 | 配管:PVC、ブレードホース | 配管:PVC | ||||
| 超純水 接続口径 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 1/4 | |||
| ユーティリティ | 超純水 | 圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度:5~35℃ / 水質:10MΩ・cm以上 | ||||
| CO2ガス | 圧力:0.1~0.2MPa / 温度:5~35℃ / 純度:99.5% 以上 | |||||
| ドライエアー (膜乾燥用) | エアーポンプ内蔵のため不要 | |||||
| 電源 | AC100-240V(50/60Hz) | |||||
| 標準付属品 | 取扱説明書、検査成績書 | |||||
| AC100-120V:電源コード2.8m(プラグ付) | ||||||
| AC200-240V:電源コード5m(プラグ無) | ||||||
| シリーズ | ラックタイプ | エアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+- (下記型式番号)』 外部エアー供給式 『FRCⅡ+- (下記型式番号)』 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | 1000AD | 1200AD | 2000AD | 1220AD | |
| 性能 | 最大流量 L/hr | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 |
| 制御域※1 MΩ・cm | 0.2-2.0 | 0.1-0.5 | 0.2-2.0 | 0.15-1.0 | |
| 寸法 | 480W×355D×200H mm | ||||
| 重量 | 15kg | ||||
| 接液部 | セル(炭酸ガス導入部):PP | ||||
| 材質 | 配管:PVC、ブレードホース | ||||
| 超純水 接続口径 | ホース用ノズル(IDφ19 ブレードホース用) | ||||
| ユーティリティ | 超純水 | 圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度:5~35℃ / 水質:10MΩ・cm以上 | |||
| CO2ガス | 圧力:0.1~0.2MPa / 温度:5~35℃ / 純度:99.5% 以上 | ||||
| ドライエアー (膜乾燥用) | 『PRC』シリーズ:エアーポンプ内蔵式のため不要 | ||||
| 『FRC』シリーズ:0.1~0.2MPa | |||||
| 電源 | AC100-240V(50/60Hz) | ||||
| 標準付属品 | 取扱説明書、検査成績書 | ||||
| AC100-120V:電源コード2.8m(プラグ付) | |||||
| AC200-240V:コード無(端子台に接続してください) | |||||
- ※1最小比抵抗値は、流量約500L/hrの場合の到達値です。
- ※2-S タイプは ブザー付2色灯台 + レベラー・キャスター付となります。
- ※超純水の圧力は、常用0.35MPa, 瞬時の場合でも0.45MPa以下でご使用ください。
- ※仕様および記載内容は、事前の予告なしに変更することがあります。
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