製品・技術
超純水製造システム
事業分野
概要
ナノ技術への挑戦
高度情報化社会の中、世界は1秒ごとに動いています。 情報技術を支える半導体産業でも高集積化に伴い、極限に近い「水」が求められてます。 NGKは時代の要請に応えて、絶えず未来の「水」を見つめてきました。 NGKの超純水トータルシステムは、ナノ技術発展の一翼を担って夢の実現をお手伝いします。
可能性を追求する研究開発で、未来を見つめています
- 確実に水質を維持します。
- システムノウハウは、コストパフォーマンスを高めます。
- トータル技術で信頼に応えます。
- 新しいニーズには、新しい技術で応えます。
最適のシステムから生まれる信頼の水質
NGKの超純水製造システムは、最新の分離技術を駆使してご要望水質に応じた最適プロセスを提供します。プロセスの合理化と水質の安定化に、自信をもっておすすめできるシステムです。
エコロジーは私たちのテーマです。水洗浄用の温超純水
NGKの温超純水装置は、オゾン層破壊の原因でもある「フロン、エタン洗浄」に代わる地球に優しい「水洗浄」を可能にしました。精密部品の超精密洗浄に安心してご使用いただけます。
- 多目的洗浄に適用可能
洗浄−リンス−乾燥 各工程で使用できます。
- 超精密リンスが可能
ウォーターマークやヘイズ現象を防止できます。
- 超精密・高速乾燥が可能
瞬時に乾燥させることができます。
- 洗浄品の清浄度モニターも可能
- 省資源・省エネルギー
基本構成
リサイクルシステム
NGKの排水処理システムは、貴重な水資源の保護のために絶えず環境問題を考えています。さらにリサイクルによる原水使用量の低減を図り、効率的なランニングコストを実現します。
仕様
| 64K | 256K | 1M | 4M | 16M | 64M | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 比抵抗（MΩ・cm） | ＞17 | ＞17.5 | ＞17.6〜18 | ＞18.0 | ＞18.1 | ＞18.2 | |
| 微粒子 （個/ml） | ＞0.2µm | ＜100 | ＜50 | - | - | - | - |
| ＞0.1µm | - | - | ＜10〜20 | ＜5 | - | - | |
| ＞0.05µm | - | - | - | - | ＜5 | ＜1 | |
| ＞0.03µm | - | - | - | - | - | ＜10 | |
| 生菌（cfu/l） | ＜103 | ＜102 | ＜10 | ＜5 | ＜1 | ＜1 | |
| TOC(µgC/l) | - | ＜100 | ＜30〜50 | ＜10〜20 | ＜5 | ＜1 | |
| シリカ(µgSiO2/l） | - | ＜10 | ＜5 | ＜3 | ＜3 | ＜1 | |
| 液存酸素(µgO/l) | - | ＜100 | ＜100 | ＜50 | ＜10 | ＜5 | |
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NGKフィルテック株式会社 営業部
03-6213-8924（東京営業所）