インクジェットプリンター用圧電アクチュエーター

概要

インクジェットプリンター用圧電アクチュエーターは、セラミック製のマイクロチャンバー（インク加圧室）に、高性能な圧電膜を一体化することで、プリンターからの信号に応じて正確にインクを加圧、ノズルからインク滴を打ち出すマイクロポンプとして働きます。

• 圧電アクチュエーターの微細、集積化

  セラミックスの微細加工技術、高精度な圧電膜成膜技術により、6mm×20mmのチップの中に180個の圧電アクチュエーターを集積化しています。

• 高耐久性

  接着剤などの有機物を使用していないため、高い耐久性･信頼性を得ています。

• 高応答速度

  ヤング率の高いジルコニアセラミックス薄板に圧電素子を直接接合した高剛性構造により、固有振動周波数が高く、高速印字に適した圧電アクチュエーターとなっています。