製品情報

NEWSIC(SiC製焼成用セッター)

概要

NEWSIC(SiC製焼成用セッター)

耐火物の強度を左右しているのは、気孔の大きさと量。炭化ケイ素の気孔を金属シリコンで埋めることで、気孔率をゼロに限りなく近づけたのが、日本ガイシが開発したNEWSIC(Si-SiC)です。NEWSICは従来のSiC系耐火物の5倍の強度を持ち、耐酸化性、耐久性にも優れているため、高温雰囲気下でも長時間使用することが可能です。

また、強度が極めて高いので、薄膜・軽量の省エネルギー型定形耐火物の設計に適しています。最近では、電子部品にも使用され、高温伝導性を生かした急昇温・急冷却に耐えて、かつセッター面内の均一化にも優れており、性能アップ、歩留まり向上を達成しています。

特長

熱伝導率が銅やアルミニウム金属と同程度に高い、遠赤外線放射率が高い、電気導電性があり静電気を帯びにくいことなどがあり、さまざまな用途に使用できます。

高強度・薄肉

常温から高温まで、従来のSiC系耐火物の5倍(250MPa)の強度を維持します。製品焼成のための窯道具重量の半減(薄肉)が可能であり、製品詰め量アップ、省エネルギーに有効です。

高熱伝導性

銅やアルミニウムなどの金属と同程度の熱伝導率(従来耐火物の約10倍)で、急激な温度変化にも耐えるため、焼成時間の30~40%短縮も可能です。また、急昇温・急冷却に耐えて、かつ、セッター面内の均一化にも優れています。

高耐酸化性

加熱されると、表面に薄い酸化保護膜が自然形成(損傷しても再生)され、酸化劣化がほとんど発生しないため、寿命を3~10倍に延ばすことができます。

複雑形状が可能

接合が可能で複雑形状の加工ができるため、高精度な製品設計が可能です。製品製造プロセスでの治具としても使用することができます。(半導体、液晶、自動車、MLCC、フェライト、インダクター、各種セラミック部品)

加熱効率が高い

遠赤外線放射率が高く、完全黒体に近いため、熱放射体として用いると、きわめて効率よく製品を加熱をすることができます。

導電性

電気伝導性があるため、静電気を帯びにくい。ほこりなどが付着し難くクリーンルーム内での使用にも適します。

ビーム&ロール
ビーム&ロール
足付きセッター
足付きセッター
プレート
プレート
セッター
セッター

耐火物製品に関するお問い合わせ

産業プロセス事業部営業部