膜分離装置・システムエンジニアリング

超純水帯電防止器MEGCON

半導体部品の製造において、超純水による精密洗浄は必要不可欠です。

概要

通常の精密洗浄は、イオン成分がほとんど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生しやすく、下記のような障害から製品不良の一因となっているケースがあります。

  • 静電気による回路破壊(=静電破壊)
  • 被洗浄物の表面荷電、静電気による微粒子の再付着

超純水に炭酸ガスを溶解(酸性機能水)するメグコンは、この静電気に起因する障害を解決し、製品不良の低減(歩留り向上)に貢献します。

用途

  • ダイシング工程における洗浄
  • 高圧ジェット洗浄
  • スクラバー洗浄
  • 液晶パネルの洗浄
  • フォトマスク及びレチクルの洗浄

特長

  • 微粒子混入リスクが少なく、また炭酸ガス消費量が少ない
  • フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
  • 装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
  • 欧州へ輸出可能なCEマーキングシリーズをラインナップ
  • 大流量にも対応(大流量機種をラインナップ)

欧州(EU)指令で定められている安全規格と表示制度です

特長

炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。

RC-1000AD(本体ラックタイプ)

機能水の事ならお任せください

MEGCONⅡ+『PRCシリーズ』型式・仕様

シリーズ キャビネットタイプ エアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+ - (下記型式番号)』
型式 標準 1000ACD 1200ACD 2000ACD 1220ACD 2040ACD
Sタイプ※2 1000ACD-S 1200ACD-S 2000ACD-S 1220ACD-S 2040ACD-S
性能 最大流量 L/hr 1000 1000 2000 2000 4000
制御域※1 MΩ・cm 0.2-2.0 0.1-0.5 0.2-2.0 0.15-1.0 0.2-2.0
寸法 標準 520W×400D×1150H mm
Sタイプ※2 520W×400D×1415H mm
重量 標準 65kg 70kg
Sタイプ※2 66kg 71kg
接液部
セル(炭酸ガス導入部):PP セル(炭酸ガス導入部):PP
材質 配管:PVC、ブレードホース 配管:PVC
超純水 接続口径 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 1/4
ユーティリティ 超純水 圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度:5~35℃ / 水質:10MΩ・cm以上
CO2ガス 圧力:0.1~0.2MPa / 温度:5~35℃ / 純度:99.5% 以上
ドライエアー
(膜乾燥用)
エアーポンプ内蔵のため不要
電源 AC100-240V(50/60Hz)
標準付属品 取扱説明書、検査成績書
AC100-120V:電源コード2.8m(プラグ付)
AC200-240V:電源コード5m(プラグ無)
シリーズ ラックタイプ エアーポンプ内蔵式 『PRCⅡ+ - (下記型式番号)』
外部エアー供給式  『FRCⅡ+ - (下記型式番号)』
型式 1000AD 1200AD 2000AD 1220AD
性能 最大流量 L/hr 1000 1000 2000 2000
制御域※1 MΩ・cm 0.2-2.0 0.1-0.5 0.2-2.0 0.15-1.0
寸法 480W×355D×200H mm
重量 15kg
接液部 セル(炭酸ガス導入部):PP
材質 配管:PVC、ブレードホース
超純水 接続口径 ホース用ノズル(IDφ19 ブレードホース用)
ユーティリティ 超純水 圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下) / 温度:5~35℃ / 水質:10MΩ・cm以上
CO2ガス 圧力:0.1~0.2MPa / 温度:5~35℃ / 純度:99.5% 以上
ドライエアー
(膜乾燥用)
『PRC』シリーズ:エアーポンプ内蔵式のため不要
『FRC』シリーズ:0.1~0.2MPa
電源 AC100-240V(50/60Hz)
標準付属品 取扱説明書、検査成績書
AC100-120V:電源コード2.8m(プラグ付)
AC200-240V:コード無(端子台に接続してください)

※1:最小比抵抗値は、流量約500L/hrの場合の到達値です。
※2:-S タイプは ブザー付2色灯台 + レベラー・キャスター付となります。

※ 超純水の圧力は、常用0.35MPa, 瞬時の場合でも0.45MPa以下でご使用ください。
※ 仕様及び記載内容は、事前の予告なしに変更することがあります。

膜分離装置・システムエンジニアリングに関するお問い合わせ

NGKフィルテック(株)営業部