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MLCC(積層セラミックコンデンサー)製造工程における焼成炉の適用

MLCCの高品質化を実現

高品質なMLCCの製造工程では、高精度な雰囲気と温度の制御が求められます。
日本ガイシでは、セラミックスの製造で培った幅広い温度領域での高精度雰囲気制御技術と温度制御技術を生かしたローラーハースキルン(RHK)により、高容量・高品質なMLCCの製造を実現します。

ローラーハースキルン(RHK)
ローラーハースキルン(RHK)

日本ガイシ製ローラーハースキルン(RHK)の特長

精密な雰囲気制御

温度、酸素分圧、水素濃度、露点を高精度に管理。独自開発のスプレー式気化器の採用により、雰囲気制御性能が向上。MLCCの高品質化、高歩留まり化を実現します。

急速昇温

昇温性能を高めるため炉内構造を最適化し⊿8,000℃/minの急速昇温を実現。焼成炉だけでなく、高熱伝導率、低熱容量のNGK製SiCセッターを採用。MLCCの電極切れの問題を解消し、高容量品開発に貢献します。

安定搬送

独自開発の駆動部機構に加え、RHK開発以来長年培ってきたノウハウを生かし、高精度搬送を実現。搬送不具合による炉内事故を抑制し、高い設備稼働率を実現します。

MLCC製造工程への適用範囲

日本ガイシ製ローラーハースキルンは、MLCC製造工程において、1次・2次脱バインダー工程、焼結工程、再酸化工程、電極焼付工程など、各工程に適用可能です。

MLCC製造工程への適用範囲を示した図

MLCC製造工程向けの導入実績多数

日本ガイシ製ローラーハースキルンは、MLCC製造工程向けの1次・2次脱バインダー工程、焼成工程、再酸化工程、電極焼付工程の各工程への導入実績が多数あります。世界で初めて雰囲気ローラーハースキルンを開発した技術力を生かした、高精度雰囲気制御に高い評価を頂き、MLCC製造工程向けに100基以上の納入実績があります。多くの実績と高い技術力により、お客様の製品歩留まり、及び製品品質の向上、高い設備稼働率の維持を実現します。

試験装置

日本ガイシでは、導入前に実生産条件で試験焼成が可能な試験用ローラーハースキルンを用意しています。お気軽にお問い合わせ下さい。

急速昇温用 5m RHK

NGKオリジナル気化器を用いた高精度雰囲気制御可能なローラーハースキルンで、実生産条件に準じた試験が可能です。
また、⊿8,000℃/minでの急昇温の試験焼成が可能です。

急速昇温用 5m RHK

円形式雰囲気バッチ炉

昇降台車式のバッチ炉です。4pile×セッター30段での試作ができます。各pileと台車が個別に回転を行うことで雰囲気と温度を均一にして製品品質向上に貢献します。

円形式雰囲気バッチ炉

焼成炉に使用する耐火物製品

日本ガイシ製耐火物製品(焼成用セッター、サヤなど)は、圧倒的な薄さと軽さにより、生産性の向上と省エネルギー化を実現します。電子部品やセラミック製品の焼成に欠かせない焼成治具を、業界随一のラインアップで提供しています。

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