車載レーダーを高精度化する石英ガラス複合ウエハーを応用したアンテナ回路基板の開発を開始
車内搭乗者の安心安全や利便性の向上に貢献

　日本ガイシとFHG-IZMは、2024年に、高速通信に適したサブテラヘルツ波^※1を利用する6G無線通信用のアンテナ回路基板を開発しました。この開発では、キャビティ（空洞）を設けた石英ガラス複合ウエハーを用いることで、サブテラヘルツ波の広い周波数帯に対応したアンテナ回路基板（特許申請中）の基本性能を実証しました。
　このたびの開発では、これまでの成果を踏まえ、石英ガラス複合ウエハーを応用し、車載レーダー用に最適化したアンテナ回路基板を日本ガイシとFHG-IZMで開発します。それを用いたレーダーモジュールと専用の高周波集積回路^※2をFHG-FHRで設計試作し、2025年11月までにレーダーの基本性能の検証を完了する予定です。

　日本ガイシの複合ウエハーは、革新的な直接接合技術と精密研磨技術により異種材料を貼り合わせた電子デバイス用ウエハーです。石英ガラス複合ウエハーは、石英ガラスとシリコンを接合したウエハーで、石英ガラスの電磁波に対する低損失性能と、シリコン基材の高い放熱特性を併せ持っています。

　自動車の「CASE(コネクテッド、自動運転、シェアリング、電動化)」が世界的に進むなか、搭乗者のバイタル情報やジェスチャーなどを検知する車載レーダーの需要が高まっています。レーダーの高精度化のため、サブテラヘルツ波の使用が検討されていますが、サブテラヘルツ波の送受信では、アンテナ回路基板に搭載される送受信回路（RFIC）での発熱が大きく、その結果、センシング精度が低下する課題があります。キャビティ付き石英ガラス複合ウエハーをアンテナ回路基板に適用することで、電波の送受信効率と送受信回路の放熱を改善し、レーダーの高精度化に貢献します。