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NGKセラミックデバイス多治見工場が操業を開始
半導体製造装置用セラミックスの生産能力を増強

2019年10月25日

日本ガイシ株式会社(社長:大島卓、本社:名古屋市)は本日、製造子会社NGKセラミックデバイス株式会社の多治見工場(岐阜県多治見市)の操業開始式を行い、本格操業を開始します。NGKセラミックデバイス多治見工場は、半導体製造装置用セラミックスの新たな生産拠点です。

 当社は現在、知多事業所(愛知県半田市)と小牧事業所(愛知県小牧市)で半導体製造装置用セラミックスを生産しています。拡大基調にある半導体市場に対応するため、多治見市に約199,800平方メートルの土地を取得し、新工場を建設しました。2019年10月から量産を開始しており、2020年度中に当社全体での年間生産能力を現状の約1.5倍に増強します。

 新工場で生産するのは、半導体製造装置の内部で半導体材料のシリコンウエハーを支持するセラミック製の機能部品(サセプター)です。当社では強度や耐熱性、耐食性などに優れるファインセラミックスの特長を生かし、独自の製法により高性能化を実現しました。高温の腐食性ガスやプラズマなどにさらされる半導体製造プロセスでも安定した性能を発揮し、半導体の生産効率を高めることができます。

 半導体市場は次世代通信規格「5G」や人口知能(AI)、あらゆるモノがネットにつながる「IoT」などの本格化に伴うデータ量の増加により、今後も堅調な成長が見込まれています。これらを背景に半導体メーカーの設備投資も継続し、当社製品の需要も中長期的に拡大する見通しです。当社は需要拡大に応じて生産量を増加させ供給体制を強化するとともに、雇用や事業活動を通じて地域経済へ貢献していきます。

<操業開始式の概要>

日時:
 2019年10月25日(金)午前10時30分から
場所:
 NGKセラミックデバイス多治見工場(岐阜県多治見市長瀬町5番15号)
出席者:
 岐阜県知事 古田肇様
 岐阜県多治見市長 古川雅典様
 日本ガイシ代表取締役社長 大島卓    
 NGKセラミックデバイス代表取締役社長 大原実
 ほか約70人

<NGKセラミックデバイス多治見工場の概要>

所在地:
 岐阜県多治見市長瀬町5番15号(多治見長瀬テクノパーク)
敷地面積:
 約199,800平方メートル
延床面積:
 約36,000平方メートル
生産品目:
 半導体製造装置用セラミックス(サセプター)
設備投資額:
 約320億円  
建屋着工:
 2018年4月
生産開始:
 2019年10月(フル生産2020年4月)
従業員数:
 約120人(2019年9月現在、フル生産時 約200人)

<NGKセラミックデバイス株式会社の概要>

本社所在地:
 愛知県小牧市大字下末字五反田434番地の3
代表者:
 代表取締役社長 大原実
事業内容:
 電子機能部品等の製造
資本金:
 9,000万円(日本ガイシ100%出資)
設立年月:
 1994年8月
従業員数:
 1,026人(2019年4月現在)
工場所在地:
 愛知県小牧市、山梨県都留市、石川県能美市、岐阜県多治見市、山梨県富士吉田市(2020年5月竣工予定)

NGKセラミックデバイス多治見工場

NGKセラミックデバイス多治見工場

半導体製造装置用セラミックス(サセプター) 半導体製造装置用セラミックス

半導体製造装置用セラミックス(サセプター)

半導体の製造プロセスの一例(成膜)

半導体の製造プロセスの一例(成膜)




日本ガイシはSDGs達成に貢献しています

以上

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