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静電チャック

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仕様

サイズ 200mm、300mm、450mmウエハー対応
吸着メカニズム ジョンソン・ラーベック(AlN)、
クーロン(Al2O3
電極形状 双極または単極

AlNの材料特性

[代表値]

  Aluminum Nitride
HA-12 HA-37/38 HA-50/51
純度 (%) 95 99.8 99
密度 [g/cc] 3.3 3.3 3.3
体積抵抗率 [Ωcm](25℃) >1E+15 1E+8〜+12 >1E+15
熱伝導率 [W/mK](25℃) 170 90 80
熱容量 [J/kgK] 750 750 750
熱膨張系数 [×10-6/℃] 5.7(1000℃) 5.0(1000℃) 5.6(1000℃)
強度 [MPa] 400 400 310
ビッカーズ硬さ [GPa] 9.8 10.7 -
ヤング率 [GPa] 300 300 300
誘導率   8.6 8.8 8.6

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  • HPC事業部営業部 東京営業所
  • 電話番号:03-6213-8789
  • FAX番号:03-6213-8975

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