適用例：各種薄板ワーク（Si・ガラス基板等）

薄板ワークの加熱特性をバッチ式でなく、将来の量産タクトを前提とした連続式で処理確認したいというご要望にお応えして、連続4室加熱試験炉をご用意いたしました。ワークへの電極ペースト印刷後の乾燥・焼付試験等、各種用途にご活用いただけます。4室を個室制御し、搬送ビームスピードを可変とすることで、多種多様のプロファイル作成が可能となります。

特徴

自動温度プロファイル機能付急昇降温試験炉の主な導入メリット、特徴は次の通 りです。

• 高変換効率が可能：独自に開発した「熱シミュレーション技術」と、搬送速度 が可変な「ビーム搬送」により、さまざまな「温度プロファイル」を自在に取得
• 従来炉（メッシュ炉）と比べ、省エネ（70％減）が可能
• 試験炉から量産へのスケールアップも完全対応