ISO規格セラミックポンプ
液封式真空ポンプ、ガスエゼクター、メカニカルブースターポンプを主機器とし、すべての接ガス部を、セラミックスを主体とした高耐食材料で構成。300m3/hrまでの排気速度と、0.04kPaまでの到達真空度を可能とし、フッ酸ガスなどを除くあらゆるガスを吸引でき、ベンチスケールのテストプラントから、実プラントまでの基幹真空発生ユニットとしてご使用いただけます。
液封式真空ポンプ、ガスエジェクター、メカニカルブースターポンプを主機器とし、すべての接ガス部を、セラミックス・グラスライニング・テフロンカーボンなどの高耐食材料で構成。フッ酸ガスなどを除くあらゆるガスを吸引でき、従来腐食性ガスのハンドリングに使用されてきた、以下のポンプの諸問題を完全に解決します。
口径65mmまでの液封式真空ポンプと、口径80mmまでのメカニカルブースターポンプを系列化し、300m3/hrまでの排気速度と、0.04kPaまでの到達真空速度に対応可能。
ベンチスケールのテストプラントから実プラントまでの基幹真空発生ユニットとしてご使用いただけます。
回転部分に強度・靱性に優れた部分安定化ジルコニア（略称：PSZ）を採用することで、金属製各種真空ポンプと同等の薄肉化・高速回転化を図り、優れた排気効率を有するとともに、小型・コンパクトな構成を実現。
特にスチームエジェクターに対しては、約50%の運動エネルギーと約30%のスペースで運転できるメリットがあります。
ポンプの運転、温度・圧力の検出、バルブの開閉などのすべてを自動化したユニットの設計・制作を行います。
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