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2011年12月5日
日本ガイシ株式会社

電子デバイス用ウエハーを「セミコン・ジャパン」に初出展

日本ガイシ株式会社(社長:加藤太郎、本社:名古屋市)は、エレクトロニクス分野での新製品の創出に向けて高輝度LED(発光ダイオード)光源やスマートフォンなどに用いられる電子デバイス用ウエハー製品群の開発を進めています。これら電子デバイス用ウエハー製品のサンプルを12月7日から9日、幕張メッセ(千葉県千葉市)で開催される「セミコン・ジャパン2011」(ブース3A-301)に初めて出展します。

当社はエレクトロニクス分野での重点的な開発テーマとして電子デバイス用ウエハー製品群の開発に取り組んでいます。この中には、異種材を接合することで、単一の材料のウエハーでは実現できない性能や機能を引き出す複合ウエハーや、これまでの単結晶育成技術では実現できなかった、ウエハー全面にわたる低欠陥密度と完全な無色透明の両立を実現した窒化ガリウム(GaN)単結晶ウエハーなどがあります。他にもレアメタル(希少金属)を使わない次世代半導体向けウエハーなどの開発に取り組んでおり、ウエハー製品群の事業化に向けて開発を加速していきます。

セミコン・ジャパン2011に出展する電子デバイス用ウエハー製品の概要は以下の通りです。

1.SAWフィルター用複合ウエハー

当社独自のセラミック技術である、異なる2種類の材料を接合する「異種材接合技術」と1マイクロ(100万分の1)メートル以下(サブミクロン)の精度で単結晶を薄板化する「超高精度薄板研磨技術」を組み合わせることで、ウエハーの機能を複合化し、これまでのウエハーでは不可能だった高い性能を引き出すことに成功しました。

例えば、シリコンと、20マイクロメートルの厚さ(寸法精度0.5マイクロメートル)に精密に研磨した圧電単結晶の薄板を接合した複合ウエハーは使用温度全域にわたって熱膨張率が低いため、スマートフォンなどの無線通信機器に用いられるSAW(表面弾性波)フィルターにおいて、温度変化による周波数のずれを抑え、従来のSAWフィルターにはない高精度なフィルター特性を発揮します。このほか、赤外レーザー光を緑色や青色のレーザー光に高効率で変換する波長変換デバイスや光学フィルター、温度センサー、次世代無線フィルター用ウエハー、圧力センサーなどの用途を想定した複合ウエハーを開発しています。

2.高輝度LED用窒化ガリウム単結晶ウエハー

高輝度LED(発光ダイオード)素子の基板として注目されている窒化ガリウム(GaN)単結晶ウエハーを作成する技術を確立しました。当社独自の液相成長法を用いることで、これまでの単結晶育成技術ではできなかった、ウエハー全面にわたる低欠陥密度と完全な無色透明の両立を実現しました。このウエハーは、プロジェクターやディスプレー、自動車用ヘッドランプなどの高輝度LED光源として、従来のウエハーではできなかった高効率の発光を実現します。このほか、ハイブリッド車や電気自動車のインバーター用パワーデバイスの基板としての用途も期待されています。

高輝度LED用窒化ガリウム単結晶ウエハー(直径2インチ)

高輝度LED用窒化ガリウム単結晶ウエハー(直径2インチ)

以上


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