日本ガイシ株式会社

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1999年06月28日

PDP製造用乾燥炉・焼成炉を開発

日本ガイシ株式会社(社長:柴田昌治,本社:名古屋市)は、プラズマディスプレイパネル(PDP)製造用の乾燥炉と焼成炉を開発しました。

PDPは、次世代型テレビ用など、大画面,薄型,軽量の平面ディスプレイとして、今後需要が拡大することが予想されています。当社では、PDPのガラス基板を製造するための、高いクリーン度に対応した乾燥炉と焼成炉を開発し、6月30日(水)〜7月2日(金)に東京ビッグサイトで開催される、液晶・プラズマなどのディスプレイ製造技術展「第9回ファインプロセステクノロジー・ジャパン'99」に出展します。

PDP製造用乾燥炉

PDP製造用乾燥炉は、PDPのガラス基板上に塗られたペーストを乾燥処理するものです。クラス1000以下のクリーン度に対応しており、遠赤外線ヒーター「インフラスタイン」による加熱方式、炉内のクリーン度を保つためのダウンブローシステムとウォーキングビーム方式による搬送システムを採用しています。

PDP製造用焼成炉

PDP製造用焼成炉は、クラス1000以下のクリーン度に対応するため、エアータイト(気密)構造を採用しています。炉内の加熱には、ガス加熱と電気加熱を併用してエネルギーコストを低減させました。さらにラジアントチューブバーナー式のHRS燃焼システムを採用することにより、従来の電気式焼成炉に比べてエネルギー消費量を約半分に削減し、省エネルギーを実現しました。炉内のマッフル材には、遠赤外線放射率の高い「NEWSIC(ニューシック)」を使用しており、製品を迅速に加熱することができます。また「NEWSIC」は剛性が高いため、炉内で製品を搬送するローラーとして使用することで、60インチまでの大型基板の多段積みが可能となり、生産性を2倍以上に向上させることができます。

当社では、客先のニーズに応えるために、試験用乾燥炉・試験用焼成炉を準備しており、ご要望に応じて試験乾燥・試験焼成を実施しています。販売は、伊藤忠テクスマック株式会社と共同で行い、売上高見通しとして2002年度に20億円を見込んでいます。

用語説明

PDP製造用乾燥炉
  • インフラスタイン
    クリーンで遠赤外線放射特性の高いセラミックヒーター「インフラスタイン」による加熱方式を採用しています。製品を直接加熱するため、効率的に乾燥することができます。
  • ダウンブローシステム
    HEPAフィルター(High Efficiency Particle Air Filter:高性能微粒子フィルター)を通した清浄な空気を、常に炉内の上方から下方へと流すシステムです。清浄な空気を炉内に供給することで炉内をクリーンに保つとともに、ペースト中の溶剤の除去を促進することにより乾燥時間を短縮できます。
  • ウォーキングビーム式搬送システム
    炉内で製品を搬送する際、搬送ビームが製品を載せて前進し、製品を降ろした後、元の位置に戻るという動きを繰り返すことで製品を移動させる方式です。搬送装置と製品の間ですべりがなく、ほこりの発生がないため、炉内をクリーンに保つことができます。
PDP製造用焼成炉
  • HRS燃焼システム(Hi-cycle Regenerative combustion System)
    セラミックハニカムを蓄熱体として内蔵した2つのバーナーを交互に切り替えて運転する省エネルギー燃焼技術で、日本ファーネス工業株式会社(社長:戸村尚義,本社:横浜市)が開発したシステムです。一方のバーナーが燃焼している間、もう一方のバーナーから燃焼ガスを排出し、蓄熱体(セラミックハニカム)に排熱を蓄えます。燃焼させるバーナーを一定のサイクルで切り替え、蓄えた排熱で燃焼用空気を予熱して効率的に燃焼します。排熱回収を行うことにより、従来のバーナーに比べて燃料使用量を約半分に削減するとともに、排ガス量の減少によりCO2排出量も約半分に低減できます。
  • ラジアントチューブバーナー
    バーナーからの高温ガスを耐熱製チューブの内部に通し、チューブ外側表面からの輻射によって製品を加熱する方法です。バーナーからの燃焼ガスが炉内に漏れないため、炉内を電気ヒーターと同レベルのクリーン度に保つことができます。ラジアントチューブバーナーは電気ヒーターと組み合わせて使用し、「NEWSIC」製マッフルと合わせて、炉内の温度分布が最適になるように配置されているため、製品を均一に加熱することができます。
  • NEWSIC(ニューシック)
    炭化ケイ素に金属シリコンを含浸させて気孔率をゼロに近づけた高強度耐火物で、炉内のマッフル材と製品を搬送するローラーに使用されています。
    遠赤外線放射率が高いため、マッフル材として使用することにより、従来の結晶化ガラス製マッフルに比べて製品を迅速に加熱することができます。また、搬送用ローラーとして使用した場合、従来のローラーに比べて剛性が高く、たわみを少なく抑えることができるため、製品を2〜3段積みにすることができます。1段積みに比べて製品の搬送量を2倍以上にすることができ、生産性が大幅に向上します。従来は困難であった60インチ大型基板の2段積みも可能です。
  • エアータイト構造
    クラス1000以下のクリーン度に対応するために、炉内には「NEWSIC」などの発塵のない材料を使用するとともに、エアータイト(気密)構造で、外部からのほこりの侵入を防止しています。

<添付資料>

・PDP製造用乾燥炉の外観写真

PDP製造用乾燥炉

・PDP製造用焼成炉の外観写真

PDP製造用焼成炉

・ウォーキングビーム式搬送システムの説明図

ウォーキングビーム式搬送システム

・ラジアントチューブバーナー式HRS燃焼システムの説明図

ラジアントチューブバーナー式HRS燃焼システム

以上


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