マイクロセラミックス技術

微細加工したセラミックス構造体と、高性能な微細圧電膜を組み合わせ、シリコンマイクロマシンの世界をセラミックスで創造することを狙いとした技術です。超薄テープ成形技術、微細加工技術、精密焼成技術により一体化した接着層の無い構造は、高い耐久性・信頼性と高速応答性を可能にしています。

マイクロアクチュエーターについて

インクジェットプリンター用圧電マイクロアクチュエーターは、セラミックス製のマイクロチャンバー（インク加圧室）に、高性能な圧電膜を一体化することで、プリンターからの信号に応じて正確にインクを加圧、ノズルからインク滴を打ち出す、マイクロポンプとして働きます。インク滴の非常に精密な制御が可能で、銀塩写真を上回る美しい画像を実現しています。

ピエゾアクチュエーターアレイについて

32×32マトリクス（1024素子）ピエゾアクチュエーターアレイ

電圧を加えると伸縮する、多数の極細圧電セラミック素子を一括して2次元的に配列する、独自のマイクロセラミックス技術を開発し、大変位の｢ピエゾアクチュエーターアレイ｣を実現しています。圧電セラミックスの特徴である大発生力・高速応答性を備えた微小な機能素子を集積化する技術を用いて、｢光スイッチ用アクチュエーター｣（※）をはじめとする光情報通信用デバイスや携帯通信機器、各種モーションデバイスなどを開発中です。

DNAマイクロアレイについて

マイクロセラミックス技術をベースに、DNAマイクロアレイ製造装置(GENESHOTスポッティング装置）を開発いたしました。現在では GENESHOTにて製作した高品質のDNAマイクロアレイを、数多くの方々にご利用していただいております。また、将来のオーダーメイド医療実現に向けても、高品質のDNAマイクロアレイで貢献いたします。