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半导体制造装置用陶瓷

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为半导体制造带来变革的高性能精细陶瓷。

精细陶瓷具有卓越的耐热性、抗腐蚀性、耐久性等。日本碍子充分利用该特点,提供即使在暴露于高温腐蚀性气体、等离子体等的半导体制造过程中,也能发挥稳定性能的陶瓷产品。以特有的热压烧结方法成型、烧成,将对半导体带来不良影响的不纯物质降低到最低限度。高纯度、高密度的结晶体发挥高绝缘抗阻性,提高半导体的生产效率。除了"静电吸盘"、"陶瓷加热器"外,还生产氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅等各种材料的半导体真空反应室用零部件。

静电吸盘

静电吸盘

是在蚀刻等过程中,吸附固定硅片的工作台。与高精度加热器一体化、与冷却板接合等,可根据用途追加各种功能,大幅提高半导体的生产效率。

陶瓷加热器

陶瓷加热器

这是成膜过程中均匀控制硅片温度的工作台。通过采用在放置硅片的发热体工作台的底面上连接管 (轴) 的特有结构,保护端子和导线不受卤素气体等影响。

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