半導体製造装置用セラミックス

各種パーツ

概要

高度な技術でさまざまな形状のパーツを提供しています。

特長

窒化アルミニウム(AlN)

窒化アルミニウム(AlN)
  • 高純度(〜99.9%)
  • 熱伝導率(〜170W/mK)
  • 耐食性、耐プラズマ性
[製品例]
シャフト、チューブ、サセプターリング

アルミナ

アルミナ
  • 高純度(〜99.9%)
  • 耐食性、耐プラズマ性
  • 複雑形状対応
  • 大型製品対応
[製品例]
リング、アーム
さらに詳しい情報は「テクニカルデータ」をご覧ください。

半導体製造装置用セラミックスに関するお問い合わせ

HPC事業部営業部 東京営業所