半導体製造装置用セラミックス

AlNヒーター

概要

AlNヒーター

熱伝導性に優れた窒化アルミニウム(AlN)を採用し、抵抗発熱体と一体で焼結することにより優れた均熱性を実現するほか、金属汚染不純物も大幅に低減しています。

特長

AlNヒーター

高均熱性及び広範囲な温度対応

熱伝導に優れる窒化アルミニウム(AlN)セラミックスを採用しています。また直接加熱方式であるため、窓のくもりなどによる経時変化がありません。
広範囲な温度対応が可能です。(〜800℃)

コンパクト

抵抗発熱体をセラミックス中に一体焼結しています。またヒータープレートにセラミックシャフトをダイレクトボンディングできます。

耐食性

ハロゲンガス、酸化雰囲気にも優れた耐久性を示しています。各種コーティングにも対応可能です。

ノンメタル

パーティクルレス、コンタミレス。高耐久性(メタルサセプターの3〜30倍の実績)

機能

ウエハー温度分析ウエハー温度分析(例:φ300ヒーター)

均熱性と使用温度範囲

[代表値]

使用温度 低温域
〜200℃
中温度
〜600℃
高温域
〜800℃
ヒーター面内温度分布 <±0.2% <±0.5% <±1%

仕様

サイズ 200mm、300mm、450mmウエハー対応
電源 100〜200V×15〜50A
電極材料 Niロッド(ケーブル)を端子に接合(ロウ接合、ネジ締結)
ヒーター材料 AlN

AlNの材料特性

[代表値]

  Aluminum Nitride
HA-12 HA-37/38 HA-50/51
純度 [%] 95 99.8 99
密度 [g/cc] 3.3 3.3 3.3
体積抵抗率 [Ωcm](25℃) >1E+15 1E+8〜+12 >1E+15
熱伝導率 [W/mK](25℃) 170 90 80
熱容量 [J/kgK] 750 750 750
熱膨張系数 [×10-6/℃] 5.7(1000℃) 5.0(1000℃) 5.6(1000℃)
強度 [MPa] 400 400 310
ビッカーズ硬さ [GPa] 9.8 10.7 -
ヤング率 [GPa] 300 300 300
誘電率   8.6 8.8 8.6

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HPC事業部営業部 東京営業所