産業用機器・装置

超純水帯電防止器MEGCON

半導体部品の製造において、超純水による精密洗浄は必要不可欠です。

概要

通常の精密洗浄は、イオン成分がほとんど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生しやすく、下記のような障害から製品不良の一因となっているケースがあります。

  • 静電気による回路破壊(=静電破壊)
  • 被洗浄物の表面荷電、静電気による微粒子の再付着

超純水に炭酸ガスを溶解(酸性機能水)するメグコンは、この静電気に起因する障害を解決し、製品不良の低減(歩留り向上)に貢献します。

用途

  • ダイシング工程における洗浄
  • 高圧ジェット洗浄
  • スクラバー洗浄
  • 液晶パネルの洗浄
  • フォトマスク及びレチクルの洗浄

特長

  1. 微粒子混入リスクが少なく、また炭酸ガス消費量が少ない
  2. フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
  3. 装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
  4. 欧州へ輸出可能なCEマーキングシリーズをラインナップ
  5. 大流量にも対応(大流量機種をラインナップ)
  6. ※ 欧州(EU)指令で定められている安全規格と表示制度です

原理

炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。

RC-1000AD(本体ラックタイプ)

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