産業用機器・装置

研磨排水処理システム

セラミック膜フィルター セフィルトの代表例

研磨排水処理システム

シリコンインゴットの外周研削、ウエハーの粗研磨、バックグラインダー、ダイサー、CMP などの工程から出る排水を処理するシステムです。セラミックフィルターを使用することにより、ランニングコストの低減、濃縮排水の減容化に貢献します。

さらに、水回収に加えて、シリコンスラッジを有価物として回収することができます。高濃縮が可能なセラミック膜と各種固液分離装置を組み合わせることで、より効率的なシリコン回収が達成できます。当社では、セラミック膜+ 固液分離装置の一環システムの対応が可能です。

研磨排水処理システム

特長

研磨排水処理システム 特徴
  1. 優れた耐薬品性・耐久性CMP 排水対応可能。ハードな薬液洗浄OK
  2. フィルター長寿命によるランニングコスト低減
  3. 高濃縮可能→濃縮廃水低減(高い水回収率)

セラミック膜と有機膜の比較

  セラミック膜 有機膜
ろ過性能 処理水SS濃度 <1mg/L <1mg/L
濃縮限界 <50,000mg/L <5,000mg/L
水回収率 99% 80~90%
耐久性 信頼性 膜の破損劣化の危険性が少なく処理水質が安定 膜の劣化、破損の可能性あり
洗浄回復性 耐薬品性に優れ、最適条件での洗浄が可能なため、回復性がよい 洗浄条件に制約があり、回復性が悪い
寿命 長寿命 短寿命

標準仕様

エレメント 細孔径 MF0.1µm、UF5万
形状 φ2.5-61穴×1000L
膜面積 0.48m2/本
モジュール ハウジング材質 PVC
エレメント本数 11本/基
膜面積 5.2m2/基(11本組)

クーラント回収への対応

太陽電池製造におけるスライス工程では、遊離・固定砥粒方式のワイヤーソーが用いられ、従来より遠心分離でのクーラント回収が行われています。
セラミック膜を追加することで、クーラントのトータル回収率をアップできます。

クーラント回収への対応 セラミック膜適用プロセス
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膜分離装置・システムエンジニアリングに関するお問い合わせ

NGKフィルテック(株)営業部