産業用機器・装置

4室炉

4室炉

適用例:各種薄板ワーク(Si・ガラス基板など)

特長

  • 高変換効率が可能
    独自に開発した「熱シミュレーション技術」と、搬送速度 が可変な「ビーム搬送」により、さまざまな「温度プロファイル」を自在に取得できます。
  • 省エネ設計
    従来炉(メッシュ炉)と比べ、省エネ(70%減)が可能です。
  • 量産体制も万全
    試験炉から量産へのスケールアップにも完全に対応します。

仕様

炉形式 ウォーキングビーム炉 搬送条件 Max 25 m/min
雰囲気温度 Max 900℃ 塗工条件 -
雰囲気 大気 ワーク条件 155 mm 厚み 1 mmサイズ以下
加熱源 近赤外線ヒーター
炉長 3.6m(4 ゾーン) その他(付帯設備) -

加熱装置(焼成炉・乾燥炉)に関するお問い合わせ

産業プロセス事業部営業部新商品G