加熱装置(焼成炉・乾燥炉)

クリーン連続搬送加熱装置

概要

高性能セルを高効率に量産、省エネ、省スペースの雰囲気連続炉。

炉に密閉された前後室を設けることで、炉内雰囲気をコントロール可能としました。残留酸素濃度(N2吹き込み200L/min)100ppm以下も実現可能。露点管理も-70℃程度は管理が可能です。

さらに搬送系にはNGK独自のビーム・ワイヤーによる端面支持タイプの搬送を採用することでワーク昇温・降温レートの向上や短時間焼成を実現します。

適用例:各種薄板ワーク(Si・ガラス基板・カーボンシート等)

ビームワイヤーによる端面支持機構のワークフローを見ることができます。

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適用例:各種薄板ワーク
(Si・ガラス基板・カーボンシート等)

仕様

炉内
遠赤外線加熱 雰囲気Max400℃ 炉内シャッター開閉機構併設
前後室
残留酸素濃度管理・水分管理可能
雰囲気
100ppm O2(Arベース)、露点-70℃
炉形式 WB炉
温度 炉内雰囲気 Max400℃
雰囲気 炉内100ppm以下、露点-70℃
搬送速度 Max400ピッチ時 10sec/タクト
ヒーター種類 インフラスタインヒーター
炉長 前室、炉体、後室
設備外形 3000L×1840W×1755H
ワーク条件 Max200×30t×1kg
付帯設備 炉体前後室、シャッター機構

クリーン連続搬送加熱装置 概略仕様図

クリーン連続搬送加熱装置 概略仕様図

クリーン連続搬送加熱装置 概略仕様図

各種解析により、炉内温度・製品温度の最適化を実現

炉内製品温度解析

解析イメージ

解析イメージ

計算図(例)

計算図(例)

熱流体解析(輻射伝熱・自然対流考慮)

エア噴出しとヒーターの並列(温度)

エア噴出しとヒーターの並列(温度)

エア噴出しとヒーターの並列(流線)

エア噴出しとヒーターの並列(流線)

加熱試験場をご利用ください

日本ガイシでは、最新炉をはじめ多様な焼成・乾燥炉を集約した加熱試験場「TEST LAB」を開設しています。

加熱試験場「TEST LAB」

「加熱試験場のご案内」パンフレットご希望の方へ

「加熱試験場のご案内」パンフレット

加熱・乾燥プロセスが必要な製品にとって、どのような環境で「熱処理」を行うかは、製品の性能やコストを左右する重要な決め手となります。

日本ガイシ産業プロセス事業部では、最新炉をはじめ多様な焼成・乾燥炉を集約し、TEST LAB として開設しています。

温度変化や雰囲気制御、ワーク搬送技術等をテストしていただくことで、より効率的な実証試験を行うことができます。

さらに、日本ガイシ独自の炉内シミュレーションソフトなど最新技術を活用することで、試験時間を大幅に短縮することが可能です。ぜひ、産業プロセス事業部「TEST LAB」のご活用をご検討ください。

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加熱装置(焼成炉・乾燥炉)に関するお問い合わせ

産業プロセス事業部営業部