産業用機器・装置

真空ポンプ

概要

真空ポンプ

ISO規格セラミックポンプ

液封式真空ポンプ、ガスエゼクター、メカニカルブースターポンプを主機器とし、すべての接ガス部を、セラミックスを主体とした高耐食材料で構成。300m3/hrまでの排気速度と、0.04kPaまでの到達真空度を可能とし、フッ酸ガスなどを除くあらゆるガスを吸引でき、ベンチスケールのテストプラントから、実プラントまでの基幹真空発生ユニットとしてご使用いただけます。

特長

高耐食性真空発生ユニット

液封式真空ポンプ、ガスエジェクター、メカニカルブースターポンプを主機器とし、すべての接ガス部を、セラミックス・グラスライニング・テフロンカーボンなどの高耐食材料で構成。フッ酸ガスなどを除くあらゆるガスを吸引でき、従来腐食性ガスのハンドリングに使用されてきた、以下のポンプの諸問題を完全に解決します。

油回転型真空ポンプ
  • 油の固化・分解清掃などのメンテナンス費用発生
  • 油の定期交換費用増大
  • ポンプの定期更新費用増大
  • ポンプ前段での除害処理設備費用発生
油滴下型真空ポンプ
  • 油使用量の増大
耐食金属製液封式真空ポンプ
  • インペラーなどの定期交換・部品コスト費増大
  • 除害設備設置費用・排水処理費用増大
スチームエジェクター
  • 凝結水の除害設備設置費用・排水処理費用増大

優れた排気特性

口径65mmまでの液封式真空ポンプと、口径80mmまでのメカニカルブースターポンプを系列化し、300m3/hrまでの排気速度と、0.04kPaまでの到達真空速度に対応可能。
ベンチスケールのテストプラントから実プラントまでの基幹真空発生ユニットとしてご使用いただけます。

省エネルギー、省スペース真空発生ユニット

回転部分に強度・靱性に優れた部分安定化ジルコニア(略称:PSZ)を採用することで、金属製各種真空ポンプと同等の薄肉化・高速回転化を図り、優れた排気効率を有するとともに、小型・コンパクトな構成を実現。
特にスチームエジェクターに対しては、約50%の運動エネルギーと約30%のスペースで運転できるメリットがあります。

完全計装化対応

ポンプの運転、温度・圧力の検出、バルブの開閉などのすべてを自動化したユニットの設計・制作を行います。

耐食機器に関するお問い合わせ

NGKケミテック株式会社