ウエハー製品

SAWフィルター用複合ウエハー

概要

独自の精密研磨技術とウエハー接合技術により、SAWフィルター用ウエハーをご提供します。

  • 熱膨張係数の低いシリコンと高品質な単結晶圧電基板を接合することで、圧電結晶の機能を損なうことなく、温度特性の改善が可能
  • 精密研磨加工技術により、圧電体層(機能層)の厚みバラツキを低減
  • ウエハーサイズは6インチまで対応可能

特長

  • シリコン-圧電体を接合することで、圧電体の機能はそのままに、熱による影響を抑えることが可能
  • 独自の接合技術により、高い信頼性を実現

複合ウエハーの可能性

機能層として半導体結晶、圧電結晶、下地層(支持基板)として単結晶、多結晶(セラミック)、ガラス(非晶質)の各種組み合わせにより、絶縁、熱伝導、熱膨張など、各種特性の改善が可能となります。

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