ウエハー製品

ハイセラムウエハー

概要

ハイセラムとは

99.99%の高純度アルミナを原料とし、透光性、高絶縁、高強度を兼ね備えたアルミナセラミックスです。
12インチまでの大口径化や、当社独自のモールドキャスト成形を用いた異形形状も可能です。

Surface SEM image of
dense poly-crystal structure

特長

材料特性比較一覧表

  サファイア
Sapphire
ハイセラム
HICERAM
アルミナ
Alumina
シリカ
SiO2
シリコン
Si
構造
Structure
単結晶
Single Crystal Al2O3
多結晶
Poly Crystal Al2O3
多結晶
Poly Crystal Al2O3
ガラス
Glass
単結晶
Single Crystal
純度
Purity
≒100% >99.9% <90% ≒100% ≒100%
全光線透過率
Total light transmittance
95-100% 95-100% - 100% -
線熱膨張係数
CTE(Coefficient of Thermal Expansion)
ppm/K 5 6 7.5 1 2.5
熱伝導率
Thermal Conductivity
W/mK 38 34 22-27 1 168
体積抵抗
Volume Resistivity
Ohm-cm 1014 1014 1014 1016 103
比誘電率
Dielectric Constant
  11 10 10 3.9 11.8
結晶粒径
Grain Size
  - <30um ~1um - -
ウエハーサイズ
Wafer Size
inch < 6
(> 8インチ高価)
<6
(> 8 Costly)
大口径化が容易
Easy to produce large size wafers
- -  

アプリケーション例

  • COMS用ベースウエハー
  • 仮サポート用ウエハー
  • ビア付きハイセラムウエハー

透光性アルミナセラミックス「ハイセラム」についてはこちらをご覧ください

電子電気機器用セラミックスに関するお問い合わせ

エレクトロニクス事業本部電子部品事業部営業部