炭化ケイ素(SiC)

• 高純度（〜99.9%）
• 低抵抗〜高抵抗（1E+1〜7Ωcm）
• 高耐食性
• 高熱伝導率（〜140W/mK）
• 大型製品対応

[製品例]

ウォール、シャワープレート、ガスインレット、ウェハーブレート

窒化アルミニウム(AlN)

• 高純度（〜99.9%）
• 熱伝導率（〜170W/mK）
• 耐食性、耐プラズマ性

[製品例]

シャフト、チューブ、サセプターリング、ダミーウェハー

アルミナ

• 高純度（〜99.9%）
• 耐食性、耐プラズマ性
• 複雑形状対応
• 大型製品対応

[製品例]

ドーム、リング、アーム、チューブ

窒化ケイ素(Si₃N₄)

• 高純度（〜99.5%）
• 耐熱衝撃性（＞△T 800℃）
• 高絶縁性
• 低熱膨張率（〜3E-6/℃）
• 高熱伝導率（〜100W/mK）
• 大型製品対応

[製品例]

ドーム、リング、ウエハーブレード、シャワープレート

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