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各種パーツ

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概要

高度な技術でさまざまな形状のパーツを提供しています。

特長

窒化アルミニウム(AlN)

窒化アルミニウム(AlN)
  • 高純度(〜99.9%)
  • 熱伝導率(〜170W/mK)
  • 耐食性、耐プラズマ性
[製品例]
シャフト、チューブ、サセプターリング

アルミナ

アルミナ
  • 高純度(〜99.9%)
  • 耐食性、耐プラズマ性
  • 複雑形状対応
  • 大型製品対応
[製品例]
リング、アーム

印刷しますプリントする

さらに詳しい情報は「テクニカルデータ」をご覧ください。

新しいウインドウを表示します半導体製造装置用セラミックスに関するお問い合わせ

  • HPC事業部営業部 東京営業所
  • 電話番号:03-6213-8789
  • FAX番号:03-6213-8975

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