概要

特徴

高均熱性及び広範囲な温度対応

熱伝導に優れる窒化アルミニウム(AlN)セラミックスを採用しています。また直接加熱方式であるため、窓のくもりなどによる経時変化がありません。
広範囲な温度対応が可能です。（〜800℃）

コンパクト

抵抗発熱体をセラミックス中に一体焼結しています。またヒータープレートにセラミックシャフトをダイレクトボンディングできます。

耐食性

ハロゲンガス、酸化雰囲気にも優れた耐久性を示しています。各種コーティングにも対応可能です。

ノンメタル

パーティクルレス、コンタミレス。高耐久性（メタルサセプターの3〜30倍の実績）

機能

• 「半導体製造装置用セラミックス」へ
• 製品情報トップへ