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超純水製造システム

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仕様

  64K 256K 1M 4M 16M 64M
比抵抗(MΩ・cm) >17 >17.5 >17.6〜18 >18.0 >18.1 >18.2
微粒子
(個/ml)
>0.2µm <100 <50        
>0.1µm     <10〜20 <5    
>0.05µm         <5 <1
>0.03µm           <10
生菌(cfu/l) <103 <102 <10 <5 <1 <1
TOC(µgC/l)   <100 <30〜50 <10〜20 <5 <1
シリカ(µgSiO2/l)   <10 <5 <3 <3 <1
液存酸素(µgO/l)   <100 <100 <50 <10 <5

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