適用例：各種薄板ワーク（Si・ガラス基板等）
への乾燥剤等の塗布・乾燥・基板洗浄

有機EL乾燥剤等の基板塗布・乾燥・洗浄をトータルで実施できる装置です。

各工程とも酸素濃度、露点管理が可能なうえ、乾燥工程では、近赤外線ヒーターと基板端面支持の採用により、昇温・降温レートの向上や短時間乾燥を実現します。

各室間をロボット搬送し、一連の工程を効率よく行うことができます。また、基板をNGK独自の大気圧プラズマ照射により洗浄することで、撥水性から親水性への表面改質処理を実現、接着剤の塗布や貼り合わせに威力を発揮します。

さらに取り外し可能なカセットにより、雰囲気を保持したままワークの搬入搬出を可能にしました。