日本ガイシ株式会社

ページ内を移動するためのリンクです。



ここからグローバルメニューです。

  1. ホーム>
  2. 製品情報>
  3. 産業用機器・装置>
  4. 加熱装置(焼成炉・乾燥炉)>
  5. クリーン連続搬送加熱装置

ここから本文です。

クリーン連続搬送加熱装置

  • 新しいウインドウでこの製品に関するお問い合わせフォームを開きます

概要

高性能セルを高効率に量産、省エネ、省スペースの雰囲気連続炉。
適用例:各種薄板ワーク(Si・ガラス基板・カーボンシート等)

適用例:各種薄板ワーク
(Si・ガラス基板・カーボンシート等)

炉に密閉された前後室を設けることで、炉内雰囲気をコントロール可能としました。残留酸素濃度(N2吹き込み200L/min)100ppm以下も実現可能。露点管理も-70℃程度は管理が可能です。

さらに搬送系にはNGK独自のビーム・ワイヤーによる端面支持タイプの搬送を採用することでワーク昇温・降温レートの向上や短時間焼成を実現します。

ビーム・ワイヤーによる端面支持機構
  • ビームワイヤーによる端面支持機構のワークフローのムービーを新しいウインドウで表示します
  • ビームワイヤーによる端面支持機構のワークフローを見ることができます。

仕様

炉内
遠赤外線加熱 雰囲気Max400℃ 炉内シャッター開閉機構併設
前後室
残留酸素濃度管理・水分管理可能
雰囲気
100ppm O2(Arベース)、露点-70℃
炉形式 WB炉
温度 炉内雰囲気 Max400℃
雰囲気 炉内100ppm以下、露点-70℃
搬送速度 Max400ピッチ時 10sec/タクト
ヒーター種類 インフラスタインヒーター
炉長 前室、炉体、後室
設備外形 3000L×1840W×1755H
ワーク条件 Max200×30t×1kg
付帯設備 炉体前後室、シャッター機構

印刷しますプリントする

さらに詳しい情報は「テクニカルデータ」をご覧ください。

新しいウインドウを表示します加熱装置(焼成炉・乾燥炉)に関するお問い合わせ

  • 産業プロセス事業部営業部新商品G
  • 電話番号:052-872-7766
  • FAX番号:052-872-7985

「製品情報」内メニューです。

産業用機器・装置

製品情報トップへ戻る製品情報トップへ戻る

製品を探す

製品一覧

製品名で検索

より詳細な技術データをお探しの方へ「製品テクニカルデータ」

最近チェックした製品


ページの先頭へ

Copyright(C) 1997-2012 NGK INSULATORS, LTD. All rights reserved.
日本ガイシ株式会社