適用例:各種薄板ワーク
(Si・ガラス基板・カーボンシート等)
炉に密閉された前後室を設けることで、炉内雰囲気をコントロール可能としました。残留酸素濃度(N2吹き込み200L/min)100ppm以下も実現可能。露点管理も-70℃程度は管理が可能です。
さらに搬送系にはNGK独自のビーム・ワイヤーによる端面支持タイプの搬送を採用することでワーク昇温・降温レートの向上や短時間焼成を実現します。
| 炉形式 | WB炉 |
|---|---|
| 温度 | 炉内雰囲気 Max400℃ |
| 雰囲気 | 炉内100ppm以下、露点-70℃ |
| 搬送速度 | Max400ピッチ時 10sec/タクト |
| ヒーター種類 | インフラスタインヒーター |
| 炉長 | 前室、炉体、後室 |
| 設備外形 | 3000L×1840W×1755H |
| ワーク条件 | Max口200×30t×1kg |
| 付帯設備 | 炉体前後室、シャッター機構 |
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