適用例：各種薄板ワーク（Si・ガラス基板等）
主として多結晶太陽電池シリコンセルの電極焼付けをターゲットとした量産炉とほぼ同型の試験炉をご用意いたしました。
ロード・アンロード設備も併設し、搬送確認も併せて行っていただけます。また量産型と同タイプとすることで、具体的なメンテナンス方法についても試験場にてご確認いただけます。150mm程度の小型ガラス基板の加熱試験も行っていただけます。
*焼成部分のみの加熱試験（短時間焼成）可能。
| 炉形式 | WB炉 | 付帯 | 150□のSiウェハーのローダー付き |
|---|---|---|---|
| 温度 | プリヒート Max400℃ 焼成 Max900℃ |
ワーク条件 | 150〜156□（4列対応可能） 200□（2列対応可能） |
| 雰囲気 | 大気 | ||
| 搬送速度 | 10sec/タクト（常用）サーボにて可変 | 付帯設備 | 前後にワーク投入、搬出装置 ※150〜156□ワークのみ4列対応 ※投入・排出速度は、炉搬送速度で制御 排気ガス処理装置として、ミストレーサあり |
| 給気容量 | プリヒート 前半・後半とも150L/min | ||
| 炉長 | 外寸 全長 1900L（プリヒート1350、焼成550）×1600W×609H |
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